吉時(shí)利S530半導(dǎo)體參數(shù)參數(shù)系統(tǒng)是為處理工藝控制監(jiān)測(cè)，工藝可靠性監(jiān)測(cè)和器件特性測(cè)量中要求的DC和C-V測(cè)量而設(shè)計(jì)的。這些參數(shù)參數(shù)系統(tǒng)用于各種器件及工藝的量產(chǎn)環(huán)境和實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。對(duì)特殊應(yīng)用，S500集成參數(shù)系統(tǒng)提供了半定制配置功能。

S530參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)功能

• 靈活的探測(cè)器接口選項(xiàng)，包括測(cè)試頭，支持原有吉時(shí)利和 Keysight 裝置
• 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 KTE 軟件環(huán)境
• 觸摸一次探頭即可完成高壓和低壓參數(shù)的測(cè)試
• 通過(guò)全新系統(tǒng)參考單元 (SRU) 進(jìn)行全自動(dòng)系統(tǒng)級(jí)校準(zhǔn)符合最新質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
• KTE 7 中的運(yùn)行狀況檢查軟件工具最大限度地延長(zhǎng)系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間和提高數(shù)據(jù)完整性
• 內(nèi)置的瞬態(tài)過(guò)電壓和/或過(guò)電流事件保護(hù)可最大程度地減少代價(jià)高昂的系統(tǒng)停機(jī)或?qū)斐蓳p壞
• 符合 ISO-17025 校準(zhǔn)要求并支持 IATF-16949 合規(guī)性
• 提供 SECS/GEM 與 300 毫米晶圓廠的集成

S530低電流參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)

線序和針數(shù)：高達(dá)60針；

SMU通道數(shù)：2-8條；

最大電壓：200V;

最大電流：1A

S530高壓參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)

SMU通道數(shù)：2-8條；

最大電壓：1100V;

最大電流：1A

S530參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)亮點(diǎn)：

高達(dá)1MHz的C-V測(cè)量功能；

兼容全自動(dòng)探針裝置；

20W SMUs提供高達(dá)1A或200V;

1kv SMU到任何系統(tǒng)引腳（S530高電壓）；

pA電流測(cè)量功能（S530低電流）；

多達(dá)60針Kelvin(S530高電壓或S530低電流)