當(dāng)今的模擬和功率半導(dǎo)體技術(shù)（包括 GaN 和 SiC）要求進(jìn)行參數(shù)測(cè)試，以便最大限度提高測(cè)量性能、支持廣泛的產(chǎn)品組合以及最大限度降低測(cè)試成本。40 多年來(lái)，吉時(shí)利已經(jīng)在關(guān)鍵應(yīng)用中解決了這些問(wèn)題以及其他重要挑戰(zhàn)，這些應(yīng)用包括工藝整合、工藝控制監(jiān)控、生產(chǎn)芯片分類（例如，晶片驗(yàn)收或已知的良好芯片測(cè)試），以及可靠性。

S540 參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)全自動(dòng)化的 48 引腳參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)，適用于高達(dá) 3kV 的功率半導(dǎo)體器件和結(jié)構(gòu)的晶片級(jí)測(cè)試。完全集成式 S540 已針對(duì)包括碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 在內(nèi)的最新復(fù)合功率半導(dǎo)體材料進(jìn)行優(yōu)化，可以在單次測(cè)試觸摸中執(zhí)行所有高電壓、低電壓和電容測(cè)試。

S540 功能

• 在單次探頭觸摸中自動(dòng)在多達(dá) 48 個(gè)引腳上執(zhí)行所有晶片級(jí)參數(shù)測(cè)試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測(cè)量，而無(wú)需更改電纜或探頭卡基礎(chǔ)設(shè)施
• 在最高達(dá) 3kV 的條件下執(zhí)行晶體管電容測(cè)量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而無(wú)需手動(dòng)配置測(cè)試引腳
• 在高速、多引腳、全自動(dòng)測(cè)試環(huán)境中實(shí)現(xiàn)低電平測(cè)量性能
• 基于 Linux 的 Keithley 測(cè)試環(huán)境 (KTE) 系統(tǒng)軟件支持輕松進(jìn)行測(cè)試開發(fā)和快速執(zhí)行
• 非常適合于過(guò)程集成、過(guò)程控制監(jiān)控和生產(chǎn)芯片分類中的全自動(dòng)或半自動(dòng)應(yīng)用
• 通過(guò)最大程度減少測(cè)試時(shí)間、測(cè)試設(shè)置時(shí)間和占地面積，降低擁有成本，同時(shí)實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室級(jí)測(cè)量性能